分析:从流体动力学的角度来讲,涂布液体在不同位置受力不稳定造成了此缺陷。该不稳定在涂布基材上就会呈现横向方向的正弦波形分布的涂布厚度不均。
结论:
第一步,是要确定你现在的工艺是否在合理的工艺窗口(process window)内因为你知道了工艺窗口,才知道怎么调啊。你不能瞎调碰运气啊!在涂布时,很多工艺参数是可调的,而且通过调整可以达到你想要的效果。
第二步,如果你真不知道工艺窗口,那也有一些常规通用的办法。稀释你的涂布溶液,降低溶液粘度 (其实就是降低溶液的Ca)看是否可以加一些表面活性剂,如果是辊涂,减小辊子的直径也是一种有效的办法。